“大奖国际电子游戏官网的单片SPM装备是在大奖国际电子游戏官网的Ultra C Tahoe装备基础上而开发 。大奖国际电子游戏官网Tahoe装备的优越性能已获得验证，可解决大部分通例温度的SPM工艺办法 。”大奖国际电子游戏官网半导体装备董事长王晖体现：“我们开发的单片SPM装备，对Tahoe装备已被验证的工艺能力做了进一步增补，增添了高温SPM工艺能力，也进一步富厚了我们的湿法产品系列 。我们以成为全球主要的洗濯解决计划供应商为目的，会继续开发新的工艺能力，包括先进的高温IPA干燥手艺和超临界二氧化碳干燥手艺 。”
现在大部分SPM湿法工艺中硫酸与双氧水混淆后的工艺温度在145摄氏度以下，被普遍应用于光刻胶去除，刻蚀后、通例剂量离子注入后、化学机械抛光（CMP）后的洗濯工艺 。大奖国际电子游戏官网的Ultra C Tahoe系统已于2018年宣布，将槽式硫酸与单片洗濯整合在一套系统中，针对处置惩罚上述这些工艺，其优越的性能已获得了业界的认可，在获得更好的洗濯效果的同时，由于大幅镌汰了硫酸的用量，本钱也得以大幅降低 。
