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2020-4-3 14:20:07
先进半导体装备领域的卓越晶圆洗濯装备供应商——大奖国际电子游戏官网半导体装备（纳斯达克：ACMR），本周宣布了立式炉装备（Ultra Furnace）——公司首台为多种干法工艺应用开发的系统。公司研发的首台立式炉装备优化后可实现高性能低压化学气相沉积（LPCVD），同时该装备平台还可延伸至氧化和退火，以及原子层沉积(ALD)等应用。此次的立式炉装备也展现了大奖国际电子游戏官网中国和韩国研发团队为时两年的相助效果。
“先进手艺节点带来了一连的挑战，这就要求装备供应商举行立异，而这种市场情形给大奖国际电子游戏官网提供了主要的时机。” 大奖国际电子游戏官网半导体装备董事长王晖体现：“一直立异是大奖国际电子游戏官网的DNA。我们发明了一个可以从我们的手艺中获益的市场需求，我们就将我们的手艺延伸至该新细分市场，在大奖国际电子游戏官网已建设的湿法工艺产品系列上增添了Ultra Furnace立式炉产品系列，通过为客户的先进产品提供整体解决计划，同时也增添了我们的市场机缘。”
“Ultra Furnace立式炉产品是由我们中韩两国的专家团队相助开发差别化手艺的效果。”大奖国际电子游戏官网半导体韩国公司首席执行官金泳律说：“大奖国际电子游戏官网韩国团队的建设让我们优异的上海团队为虎傅翼，加速了我们进军市场的速率，并为本土客户提供精彩的手艺支持。”
沉积工艺是指，在高温下化学气体在晶圆外貌上反应形成氧化硅或者氮化硅膜层。Ultra Furnace立式炉系统可用于批量处置惩罚多至100片12英寸（300毫米）晶圆。立异的系统设计使用了新开发的硬件，提高了耐用性，同时搭载了大奖国际电子游戏官网成熟的软件手艺、自研的控制系统和算法。这些特点包管了装备能稳固地控制制程压力、气体流量和温度。
现在大奖国际电子游戏官网Ultra Furnace立式炉主要面向LPCVD工艺市场，后续只需对其组件和结构举行一些局部变换，就可知足其它目的应用需求。85%左右的硬件设置可坚持稳固，以是面向新应用的变换可有用地实现。
大奖国际电子游戏官网半导体Ultra Furnace立式炉目的市场以中国大陆为起点，逐步向韩国和中国台湾市场推进。大奖国际电子游戏官网已于2020年头，向中国一家主要的逻辑客户的制造工厂交付了公司产研的第一台Ultra Furnace。该装备用于LPCVD，现在已经在客户端装置并举行验证。
